הרצאת אורח - סמינר באלקטרואופטיקה

מסע מרתק מעבר לגבולות הדיפרקציה בתעשיית המוליכים למחצה

מרצה: אוהד בכר, KLA Tencor

מגבלת הדיפקרציה הינה תכונה פיזיקלית בסיסית של מערכות אלקטרומגנטיות, היא מגדירה למשל את הגודל המינימלי אליו ניתן למקד אלומת לייזר ואת יכולת ההפרדה בין פרטים בתמונה המופקת ממערכת הדמייה.

מגבלה זו נקבעת על ידי אורך הגל של הקרינה האלקטרומגנטית בה נעשה השימוש, יכולת המערכת לאסוף את הקרינה והתפלגות הקרינה בתוך המערכת. במערכות אופטיות, העושות שימוש באור נראה, הגודל הטיפוסי של גבול הדיפקרציה הוא מסדר גודל של מאות ננומטרים ועד מספר מיקרונים.

בחטיבת המטרולוגיה האופטית של החברה הבינלאומית KLA-Tencor, הממוקמת במגדל העמק, מפתחים ומייצרים מכונות מבוססות אופטיקה לביצוע בדיקות איכות בתהליכי הייצור של התקנים משולבים מבוססי מולכים למחצה (יחידות עיבוד מרכזיות למחשבים – CPU, התקני זיכרון וכד'). הגדלים האופייניים לתעשייה זו הם מסדר גודל של ננומטרים בודדים.

המדענים והמהנדסים של חברת KLA-Tencor נדרשים אם-כן לגשר על פער עצום (שלושה-ארבעה סדרי גודל) בין הגודל אותו הם צריכם למדוד לבין המגבלה הפיזיקלית השלטת. בהרצאה זו נסקור פתרונות שיושמו בשתיים ממכונות החברה:

1. אפודיזצייה – ביצוע מניפולצייה על התפלגות האור העובר בתוך מערכת אופטית במטרה להקטין את מגבלת הדיפרקצייה.
2. דגימת יתר – מדידת שגיאת הסטה (Overlay Error) ננומטרית תוך שימוש בהיתוך מידע מגורמי קלט רבים הנושאים כל אחד מידע מוגבל דיפרקציה לכדי מאות ננומטרים.

הסמינר ינתן בחדר 120 בבניין וולפסון להנדסה מכנית, 14 בינואר 2018, 12:00- 11:00 בבוקר.